金融界2024年3月11日消息，據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局公告，海目星激光科技集團股份有限公司申請一項名為“硅片輸送系統(tǒng)、硅片加工設(shè)備以及硅片加工方法“，公開號CN117672934A，申請日期為2023年11月。

 

專利摘要顯示，本發(fā)明公開了一種硅片輸送系統(tǒng)、硅片加工設(shè)備以及硅片加工方法，硅片輸送系統(tǒng)，包括：轉(zhuǎn)臺裝置，用于將硅片從進料位依次轉(zhuǎn)動搬運至第一加工位、第二加工位和出料位；第一探針裝置，包括受控能夠上下移動的第一探針模組，第一探針模組位于第一加工位的上方，第一探針模組用于與位于第一加工位的硅片的第一加工區(qū)域相對、以避開位于第一加工位的硅片的第二加工區(qū)域；第二探針裝置，包括受控能夠上下移動的第二探針模組，第二探針模組位于第二加工位的上方，第二探針模組用于與位于第二加工位的硅片的第二加工區(qū)域相對、以避開位于第二加工位的硅片的第一加工區(qū)域。

 

（本文源自：金融界，作者：情報員,《海目星申請硅片輸送系統(tǒng)專利，提高硅片加工效率》)